Bei der Röntgenfluoreszenzanalyse findet die Technik der Fluoreszenzspektroskopie auf Röntgenstrahlung Anwendung.
Die Materialprobe wird entweder durch Röntgenstrahlung, Gamma- oder Ionenstrahlung angeregt.
Kernnahe Elektronen werden dadurch überwiegend von den inneren Schalen des Atoms herausgeschlagen. Elektronen aus den äußeren Schalen fallen aus ihrem höheren Energieniveau zurück.
Die dabei freigesetzte Sprungenergie wird in Form von elementspezifischer Fluoreszenzstrahlung abgegeben. Diese Strahlung wird von einem Strahlungsdetektor aufgefangen und dann ausgewertet.
Durch die gängigen Röntgenfluoreszenzanalysegeräte können Elemente (ab Ordnungszahl Z = 5) in den unterschiedlichsten Zusammensetzungen identifiziert und ihre Konzentration bestimmt werden.
Selbst kleinste Verunreinigungen wie beispielsweise Schwermetalle in Böden können so nachgewiesen werden.
